上海微电子装备（集团）股份有限公司（简称SMEE）成立于 2002 年 3 月，定位“赋有国家使命的市场化公司”。SMEE 自“十五”起至今先后承担了多个国家 IC 前道光刻机研制专项任务。在专项技术的辐射下，SMEE 根据半导体产业、泛半导体产业和信息技术发展趋势与市场需求全面布局，开发了一系列高端装备，是国内唯一具备制造多领域、多品种产线应用的高端光刻机供应商。